真空控制系統(tǒng)

用途：用于實驗腔體的真空度自動控制，實現(xiàn)測試過程中真空的程序定向控制。

控制范圍：真空泵極限真空-100000pa

控制精度：<1000pa  ±1pa

                 >1000pa    0.1%

泄漏率：5*10^-9Pa.m³/S.He以下

控制速度：5min以內(nèi)完成

程序步數(shù)：30步，隨意設置。

真空計：英福康真空計 0-50torr  0-1000

 真空控制系統(tǒng)

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